Єфремов О. О. Механізми модифікації профілів розподілу домішок при мас-спектрометричному аналізі багатошарових наноструктур / О. О. Єфремов, В. Г. Литовченко, В. П. Мельник, О. С. Оберемок, В. Г. Попов, Б. М. Романюк // Укр. фіз. журн.. - 2015. - 60, № 6. - С. 512-521. - Бібліогр.: 23 назв. - укp.Проведено теоретичний аналіз механізмів, які призводять до просторового перерозподілу компонентів твердотільної мішені під дією іонного бомбардування. Виконано моделювання впливу іонно-променевого перемішування (ion-beam mixing), форми кратера розпилення та шорсткості поверхні на результати мас-спектрометричних вимірювань залежно від енергії розпилюючих іонів. Показано, що в діапазоні енергій іонів 200 - 400 еВ вплив згаданих факторів є мінімальним для розпилення багатошарових нанорозмірних періодичних структур Mo/Si, виготовлених за допомогою методу магнетронного напилення шарів молібдену та кремнію. Експериментальні дослідження профілів розподілу домішок і порівняння їх з результатами моделювання надало змогу встановити оптимальні режими мас-спектрометричного аналізу, досягти роздільної здатності по глибині краще 1 нм та одержати профілі розподілу домішок, максимально наближені до реальних. Індекс рубрикатора НБУВ: В371.21
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж26988 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|