Болотов М. Оптимізація процесу осадження тонких металевих плівок у тліючому розряді з порожнистим катодом / М. Болотов // Техн. науки та технології. - 2016. - № 3. - С. 104-112. - Бібліогр.: 11 назв. - укp.
Наведено результати застосування методів математичного планування експерименту з метою визначення найбільш впливових на процеси формування та росту металевого тонкоплівкового покриття параметрів режиму осадження у тліючому розряді з порожнистим катодом. У результаті роботи одержано регресійну математичну модель, яка надає змогу одержати результати з 4 - 6 % похибкою відносно експериментальних.
Шифр НБУВ: Ж101341Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Наукова періодика УкраїниДодаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"