Досліджено процеси утворення поверхневих структур нанорозмірного масштабу у процесі іонного розпорошення. В межах дослідження анізотропної моделі у разі врахування флуктуацій потоку іонів, що налітають, одержано діаграми, що ілюструють можливі типи рівновісних і хвильових поверхневих структур, які реалізуються в досліджуваній системі. Показано, що кількість таких структур на пізніх часах еволюції системи є постійною величиною. Встановлено залежності показників росту поверхні та її шерсткости. Досліджено динаміку процесів структуроутворення на поверхні за умови флкжтуацій кута розпорошення. Показано, що статистичні властивості такого мультиплікативного шуму впливають на динаміку структуроутворення, характер і морфологію поверхневих структур. В межах узагальненої моделі з урахуванням процесів релаксації опромінюваної поверхні одержано фазову діаграму, що розподіляє область основних параметрів системи на домени, які відповідають умовам реалізації стаціонарних структур на поверхні розпорошуваного матеріалу та гладкої поверхні. Досліджено динаміку структурних дефектів. Розвинутий підхід застосовано для моделювання процесу розпорошення кремнію іонами Аргону. Встановлено залежності глибини проникнення іонів і коефіцієнта виходу від кута розпорошення та енергії іонів. Показано, що на малих кутах розпорошення реалізуються рівновісні (ізотропні) структури, тоді як за великих значень кута розпорошення формуються хвильові структури. Встановлено залежності довжини хвилі структур кремнію від енергії іонів і показано, що лінійний розмір ізотропних структур зменшується зі збільшенням енергії налітних іонів і набуває значень порядку декількох нанометрів.

• Харченко Віталій Олександрович (біологічні науки)
• Харченко Василь Олегович (фізико-математичні науки)
• Харченко Вілен Олександрович (економічні науки)
• Харченко Володимир Олександрович (філософські науки)
• Харченко Дмитро Олегович (фізико-математичні науки)
• Лисенко Ігор Олександрович (історичні науки)
• Лисенко Ірина Олегівна (фізико-математичні науки)
• Яновський Василь Васильович (технічні науки)
• Яновський Володимир Володимирович (фізико-математичні науки)
• Дворниченко Аліна Василівна (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"