Погребняк А. Д. Влияние имплантации наноструктурного покрытия (TiHfZrVNbTa)N высокой дозой ионов N+(1018 см-2) на его микроструктуру, элементный и фазовый состав и физико-механические свойства / А. Д. Погребняк, С. О. Борьба, Я. О. Кравченко, Е. О. Тлеукенов, С. В. Плотников, В. М. Береснев, Y. Takeda, K. Oyoshi, А. И. Купчишин // Сверхтвердые материалы. - 2016. - № 6. - С. 22-32. - Библиогр.: 22 назв. - рус.Изучены структура и свойства наноструктурных многокомпонентных покрытий (TiHfZrNbVTa)N, имплантированных очень высокой (1018 см-2) дозой ионов N+. В результате имплантации ионов в поверхностном слое наноструктурного покрытия формируется многослойная структура, состоящая из аморфных, нанокристаллических (диспергированного) и наноструктурных (с исходными размерами) нанослоев. В глубине покрытия формируются две фазы - ГЦК и ГПУ с небольшим объемным содержанием. Концентрация азота вблизи поверхности достигает 90 % (ат.) и затем уменьшается с глубиной. В исходном состоянии после осаждения нанотвердость покрытия, в зависимости от условий осаждения, имеет значения от 27 до 34 ГПа. В результате имплантации твердость уменьшается примерно на глубину проективного пробега ионов - до 12 ГПа, а дальше увеличивается с глубиной до 23 ГПа. Исследования проводили с помощью резерфордовского обратного рассеяния, растровой электронной микроскопии с микроанализом, высокоразрешающей электронной микроскопии (с локальным микроанализом), дифракции рентгеновских лучей, наноидентирования, тестов на износ. Індекс рубрикатора НБУВ: К663.6-1
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14159 Пошук видання у каталогах НБУВ
Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|