Методами растровой электронной микроскопии с энергодисперсионным элементным микроанализом, рентгеноструктурного анализа и микроиндентирования исследовано влияние условий осаждения в реактивной азотной атмосфере на морфологию роста, фазовый состав, структуру и микротвердость вакуумно-дуговых многослойных покрытий, полученных испарением катодов из Mo и Ti + 6 % (по массе) Si как после их осаждения, так и после высокотемпературного отжига. Установлено, что использование составного катода из Ti и Si позволяет формироваться структурному состоянию, склонному к упорядочению, с образованием при высокотемпературном отжиге двухфазного соединения из TiN и Ti5Si3. Твердость покрытия при этом повышается до значения больше 45 ГПа.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Клименко Сергій Анатолійович (1956–) (технічні науки)
• Соболь Олег Валентинович (фізико-математичні науки)
• Соболь Оксана Вікторівна (хімічні науки)
• Литовченко Сергій Володимирович (фізико-математичні науки)
• Литовченко Світлана Віталіївна (педагогічні науки)
• Погребняк Анатолій Дмитрович (фізико-математичні науки)
• Сребнюк Павло Анатолійович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"