Береснев В. М. Использование смеси газов (C2H2 + N2) для получения высокотвердых карбонитридных покрытий на основе молибдена / В. М. Береснев, О. В. Соболь, А. Д. Погребняк, С. В. Литовченко, А. А. Мейлехов, У. С. Немченко, В. А. Столбовой, Н. С. Евтушенко, Д. А. Колесников, М. Г. Ковалева, Б. А. Мазилин, Л. В. Маликов, З. Н. Проценко // Журн. нано- та електрон. фізики. - 2017. - 9, № 5. - С. 05043-1-05043-6. - Библиогр.: 26 назв. - рус.Изучено влияние рабочего давления и соотношение компонент смеси газов (C2H2 + N2) на элементный и фазовый составы, структуру и физико-механические характеристики формируемых вакуумно-дуговых покрытий на основе вольфрама. Показано, что для высокотемпературного применения нитриды менее предпочтительны по сравнению с карбидами. В температурном интервале осаждения <$E100~-~550~symbol Р roman C> в результате плазмо-химических реакций при составе газовой атмосферы 80 % C2H2 + 20 % N2 максимальное содержание атомов азота в покрытии не превышает 1,5 ат.%. Для состава 40 % C2H2 + 20 % N2 максимальное соотношение N/C (в ат.%) повышается до 10,5 % при максимальном давлении <$E3~times~10 sup -3> Торр. Относительное содержание атомов азота увеличивается с повышением давления смеси. Плазменно-химические реакции при осаждении в смеси газов приводят к формированию фаз с нанометровым размером кристаллитов и фазовым составом на основе <$Egamma>-MoC (80 % C2H2 + 20 % N2) и фаз <$Egamma>-MoC и <$Egamma>-Mo2N (при меньшем содержании C2H2 (40 % C2H2 + 20 % N2) в газовой смеси. Установлено, что определяющим фактором повышения твердости является рабочее давление смеси газов при осаждении. При наибольшем давлении <$E3~times~10 sup -3> Торр, когда формируется текстура (100) нанокристаллитов карбида молибдена (<$Egamma>-MoC) достигается сверхтвердое состояние с твердостью 50,5 ГПа. Індекс рубрикатора НБУВ: К663.253.1-1
Шифр НБУВ: Ж100357 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|