Розглянуто властивості плівок карбіду кремнію, одержаних на поруватих підкладках кремнію за методом заміщення атомів. На макропоруватих підкладках Si (100) одержано плівки карбіду кремнію, що "огортають" порувату поверхню. Дана структура може знайти застосування під час виготовлення електродів суперконденсаторів. На мезопоруватих підкладках Si (100) одержано полікристалічні плівки карбіду кремнію 3C-SiC з розміром зерен 27 нм. Монокристалічні епітаксійні плівки карбіду кремнію C-SiC, одержані на мезопоруватих підкладках Si (111), володіють малою площею контакту між Si та SiC, що надає змогу ефективно "відв'язати" механічні напруги, які виникають внаслідок відмінностей у коефіцієнтах термічного розширення і параметрах граток кремнію і карбіду кремнію. Виявлено, що наявність пор у приповерхневих шарах Si призводить до значної релаксації напружень у плівках SiC, що відкриває шлях до вирощування товстих шарів GaN на темплейті SiC/porous Si/Si.

• Кідалов Валерій Віталійович (1960–) (фізико-математичні науки)
• Дяденчук Альона Федорівна (1986–) (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"