С помощью метода шликерного литья из чистых порошков микронного размера SiC и AlN в молярном соотношении 1:1 была изготовлена мишень SiC-AlN для последующего магнетронного распыления в виде диска диаметром 100 мм. Общее количество добавок, активирующих спекание и получение малопористого материала в композите SiC-AlN не превышало 1 %. По методу магнетронного распыления композитной мишени были получены покрытия на поверхности нержавеющей стали и монокристаллического кремния. Представлены результаты исследования влияния соотношения газов рабочей атмосферы аргон-азот, на структуру, состав, механические и адгезионные свойства полученных покрытий. Были изготовлены 2 серии образцов при следующих параметрах: 100 % Ar, 11,1 % Ar + 55,6 % N. Толщина полученных покрытий составила порядка 1,5 мкм. Твердость покрытии определялось из анализа кривых нагрузка-перемещение, полученных с помощью ультрамикротвердомера фирмы SHIMADZU. Для покрытий, нанесенных в атмосфере аргона, микротвердость составила около 3320 HV, для покрытии, нанесенных в атмосфере Ar + N - 1600 HV. Также было обнаружено, что добавление азота в атмосферу камеры снижает адгезионную прочность покрытии примерно в 1,5 раза.

• Литовченко Сергій Володимирович (фізико-математичні науки)
• Литовченко Світлана Віталіївна (педагогічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"