Оптичні методи характеризації поверхні спираються на вимірювання або відношення комплексних коефіцієнтів відбивання для ортогональних поляризацій світла (еліпсометрія), або магнітуди цих коефіцієнтів, що надає змогу розв'язати обернену проблему, тобто обчислити параметри поверхні (такі як кількість, товщина та проникність плівок), шляхом їх оптимизації. З метою збільшити кількість величин, що вимірюються експериментально, у роботі запропоновано метод визначення фази відбитого світла шляхом аналізу спектральних особливостей світла, відбитого від плоскопаралельного зазору, одну з граней якого утворює досліджувана поверхня. Показано, яким чином нормований спектр, одержаний в результаті процедури "рухомого зразка", може бути конвертовано у спектральну залежність магнітуди і фази коефіцієнта відбивання. Продемонстровано, що знання комплексного коефіцієнта відбивання зводить обернену проблему по відновленню діелектричної проникності одношарової плівки до розв'язку лінійного матричного рівняння. Це вигідно відрізняє метод у порівнянні з еліпсометрією, для якої не існує прямої трансформації еліпсометричних кутів у фізичні параметри плівки.

• Турчин Ольга Володимирівна (технічні науки)
• Турчин Оксана Володимирівна (психологічні науки)
• Турчин Ольга Василівна (філологічні науки)
• Турчин Олександр Вікторович (1956–) (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"