РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»


Бази даних


Реферативна база даних - результати пошуку


Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000704213<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Коломієць В. М. 
Створення елементів рентгенівської оптики із застосуванням протонно-променевої літографії / В. М. Коломієць, С. М. Кравченко, І. М. Кононенко, О. Г. Пономарьов, В. А. Ребров, С. В. Колінько // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології : зб. наук. пр.. - 2018. - 16, вип. 4. - С. 645-655. - Бібліогр.: 16 назв. - укp.

Метод рентгенівської фазово-контрастної візуалізації як метод дослідження структури об'єктів є надзвичайно перспективним з точки зору практичного застосування, особливо в галузі медицини. Але для реалізації цього методу потрібна значна ступінь когерентности рентгенівського випромінення. Створення Тальботового інтерферометра на основі рентгенівських фазових дифракційних гратниць надає змогу працювати з поліхроматичним випроміненням X-променевої трубки. Це уможливлює уникнення використання дорогого наукового обладнання, наприклад синхротрона, і значно пришвидшує широке застосування цього методу. Зазвичай, модельними фазовими гратницями є гратниці на основі силіцію з гальванічно осадженим золотом, оскільки золото має достатньо високу густину та велике значення масового коефіцієнта поглинання рентгенівського випромінення. Оскільки золото є достатньо коштовним матеріалом, то як поглинальний матеріал можна використовувати бісмут, який значно дешевший і несуттєво погіршує фізикотехнічні характеристики фазових дифракційних гратниць. Запропоновано методику виготовлення гратчастих структур на основі монокристалічного силіцію з поглинальним матеріалом бісмутом за допомогою протонно-променевої літографії. Експонування протонним пучком окремих ділянок зразків з попередньо нанесеним позитивним фоторезистом ПММА є необхідним для проведення наступних етапів процесу виготовлення фазових гратниць - вищавлювання опромінених областей і гальванопластики. В результаті проведених експериментів було одержано дослідні зразки гратчастих структур висотою близько 15 мкм, періодом у 85 мкм та шпаруватістю у 0,4. Для дослідження структури та висоти зразків було використано метод растрової електронної мікроскопії.


Індекс рубрикатора НБУВ: Р364.152с03 + К968.7

Рубрики:

Шифр НБУВ: Ж72631 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського