Novikov V. Yu. Structure and physicomechanical properties of superhard multicomponent multilayer (TiAlCrY/Zr)/(TiAlCrYN/ZrN) coatings with double modulation period of the structure = Структура та фізико-механічні властивості надтвердих багатошарових покриттів (TiAlCrY/Zr)/(TiAlCrYN/ZrN) з подвійним періодом модуляції структури / V. Yu. Novikov, V. M. Beresnev, D. A. Kolesnikov, O. N. Ivanov, S. V. Lytovchenko, O. V. Glukhov, D. V. Gorokh, A. O. Kozachenko, E. V. Krytsyna, V. V. Sirota // Журн. нано- та електрон. фізики. - 2019. - 11, № 2. - С. 02027-1-02027-6. - Бібліогр.: 7 назв. - англ.Висвітлено питання одержання, встановлення механізмів і закономірностей формування фазового складу, структури багатошарових покриттів системи (TiAlCrY)N/ZrN з одинарним і системи (TiAlCrY/Zr)/(TiAlCrY)N/ZrN з подвійним періодом модуляції методом вакуумно-дугового осадження. Мішені розташовували на одній прямій на рівних відстанях від перпендикулярної осі, на якій кріпилися підкладинки. Обертання осі з підкладками здійснювали або безперервно, або з фіксованою затримкою у випарників. Покриття обох систем відрізняються високим ступенем ламінарності шарів. Покриття системи (TiAlCrY)N/ZrN мають виражену шарувату періодичну структуру всього обсягу покриття. Період модуляції (сумарна товщина бішару) такої структури становить близько 30 вм. У покриттях системи (TiAlCrY/Zr)/(TiAlCrYN/ZrN) чітко проглядається два періоди модуляції. Один період приблизно збігається з періодом модуляції зразків системи (TiAlCrY/Zr)N і становить близько 30 нм. Другий період модуляції становить приблизно 1,3 мкм. У нього входить - 18 бішарів. Досліджено вплив парціального тиску азоту в камері на вміст азоту в покриттях, їх твердість і адгезійну міцність. Виявлено значне збільшення твердості 68,22 ГПа і адгезійної міцності покриттів з подвійним періодом модуляції структури. Запропоновано принципово новий технологічний підхід до процесу одержання багатошарових покриттів. Індекс рубрикатора НБУВ: В372.6 + В376.1 + К663.6-18
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж100357 Пошук видання у каталогах НБУВ
Повний текст Наукова періодика України
![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|