Рассмотрены различные аспекты и направления развития разработанного впервые в ИФП НАНУ оригинального химического метода синтеза моно- и мультифазных полупроводниковых материалов - безвакуумного CVD метода получения пленок посредством пиролиза металлокомплексов дитиокарбаматов. Его отличительными особенностями являются возможность получения плёнок бинарных соединений из одного, а не из нескольких прекурсоров, а также возможность выращивать качественные плёнки в атмосфере воздуха. Этим методом получено большой ряд полупроводниковых соединений типа A<^>I-VIIIB<^>VI. Обзор включает в себя начальный период разработки, связанный с поиском прекурсоров, удовлетворяющих требованиям, предъявляемым к технологии и исходным веществам. Рассмотрены различные этапы развития технологии: синтез исходных компонентов, их термоанализ, исследование кинетики роста пленок, получение пленок различных соединений, исследование их структуры, морфологии поверхности, физических, оптических, полупроводниковых свойств, а также получение пленочных структур на их основе. Показано, что на неориентирующих подложках формируются поликристаллические текстурированные пленки с высокой адгезией к подложкам различного типа, а на ориентирующих - высокоориентированные эпитаксиальные пленки. Для метода характерны сравнительно низкие (200 - 350 <$E symbol Р>C) температуры образования пленок и высокие скорости их роста (1 - 20 нм/с), возможность получения пленок в широком диапазоне толщин (от 50 нм до 10 мкм). Подробно обсуждено получение фотопроводящих, люминесцентных, проводящих и резисторных структур, акустоэлектронных элементов и других систем оптоэлектроники. Приведены примеры серийных устройств на основе пленок, изготовленных данным методом.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Зав'ялова Людмила Володимирівна (1978–) (біологічні науки)
• Снопок Борис Анатолійович (1965–) (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"