Розглянуто гібридні системи для електронно-променевого випаровування (ЕПВ) з іонним асистуванням процесу конденсації випарюваної речовини у вигляді покриття. Наведено систему, в якій іони аргону генерувалися за допомогою магнетронного розряду, створюваного навколо підкладки у вигляді стрижня, що слугує катодом цього розряду. Мета іонного асистування - розпилення поверхні підкладки для фінішної очистки перед нанесенням покриття і бомбардування іонами конденсату під час осадження для іонно-кінетичної дії на структуру покриття. Реалізовано процес нанесення демпферного покриття MgO - Cr - Sn на титанову підкладку методом ЕПВ з асистуванням іонами аргону підкладки за умов відносно низьких температур (200 <^>oC).

• Кузьмичєв Анатолій Іванович (технічні науки)
• Устінов Анатолій Іванович (фізико-математичні науки)
• Руденко Ольга Ернестівна (філологічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"