Antonyuk V. S. Research of microhardness of thin ceramic coatings formed by combined electron-beam method on dielectric materials = Дослідження мікротвердості тонких керамічних покриттів, сформованих комбінованим електронно-променевим методом на діелектричних матеріалах / V. S. Antonyuk, Yu. Yu. Bondarenko, S. O. Bilokin, V. O. Andrienko, M. O. Bondarenko // J. of Nano- and Electronic Physics. - 2019. - 11, № 6. - С. 06024-1-06024-5. - Бібліогр.: 13 назв. - англ.Встановлено особливості одержання на поверхнях діелектриків (на прикладі кремнію Кр1) тонких керамічних покриттів (TiO2 + Al2O3, Al2O3, ZrO2) у разі їх формування термічним випаровуванням у вакуумі. Досліджено механізм підвищення мікротвердості таких покриттів шляхом їх поверхневого модифікування електронним потоком стрічкової форми. Показано, що комбіноване термовакуумне нанесення тонких керамічних покриттів із порошкових матеріалів на поверхню кремнію Кр1 з наступним їх модифікуванням електронним потоком низької енергії в одному технологічному циклі, надає змогу суттєво зменшити мікрорельєф та стабілізувати однорідність поверхонь покриттів, а також підвищити хімічну і біологічну стійкість цих покриттів до впливу оточуючого середовища. Визначено умови якісного знаходження мікротвердості досліджуваного матеріалу із залученням методу атомно-силової мікроскопії. Проведено дослідження мікротвердості як модифікованих покриттів, так і поверхонь діелектриків, на які проводилося їх нанесення. Встановлено факт нелінійного збільшення мікротвердості (на 13 - 17 %) тонких покриттів, нанесених на поверхню діелектричного матеріалу комбінованим за електронно-променевим методом по мірі зменшення товщини цих покриттів. Показано можливість визначення мікротвердості багатошарових керамічних покриттів, одержаних комбінованою електронно-променевою технологією, за різних умов та різних режимів проведення технологічного експерименту. Індекс рубрикатора НБУВ: Л749.8 + В379.3
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж100357 Пошук видання у каталогах НБУВ
Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|