Рябцев С. І. Структура та електричні властивості тонких плівок Al66Cu18Co16 та Al69Co16Ni15 / С. І. Рябцев, О. В. Сухова // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології : зб. наук. пр.. - 2019. - 17, вип. 4. - С. 729-736. - Бібліогр.: 12 назв. - укp.Тонкі плівки номінального складу Al66Cu18Co16 та Al69Co16Ni15 товщиною у 85 - 100 нм, охолоджені зі швидкістю у 10<^>12 - 10<^>14 К/с, було вперше одержано за допомогою методу модернізованого триелектродного йонно-плазмового розпорошення складених мішеней. Плівкові покриття осаджували на підкладинки, виготовлені з натрію хлориду або ситалу. Структуру покриттів аналізували за допомогою рентгеноструктурного аналізу. Електричний опір вимірювали з застосуванням чотирозондового методу. В структурі свіжонапорошених плівок спостерігається рентгеноаморфна фаза та сліди квазікристалічної декагональної D-фази. Області когерентного розсіяння (ОКР) плівок Al66Cu18Co16 та Al69Co16Ni15 дорівнюють 2,8 нм і 3,2 нм відповідно. Зміна електричного опору тонких плівок Al66Cu18Co16 та Al69Co16Ni15 у разі нагріву до температур, відповідно, у 600 К і 640 К має оборотний характер, що вказує на термічну стійкість їх структури. Подальший нагрів до 920 К супроводжується необоротною зміною електричного опору, що спричинено зникненням аморфної фази та появою металевої фази на основі алюмінію в структурі плівок. Після витримки за температури у 923 К протягом 10 хв розміри ОКР D-фази збільшуються у понад двічі та сягають 6,0 - 6,5 нм. У структурі плівок спостерігаються наночастинки квазікристалів в алюмінієвій матриці. Температурний коефіцієнт опору (ТКО), як під час нагріву, так і охолодження, має негативні значення, що підтверджує присутність у структурі плівок квазікристалічної фази. Під час охолодження від температури у 920 К до кімнатної температури ТКО тонкої плівки Al66Cu18Co16 збільшується від <$Esymbol @~-4~cdot~10 sup -4> К<^>-1 до -<$E1,2~cdot~10 sup -5> K<^>-1, а плівки Al69Co16Ni15 - від -<$E5~cdot~10 sup -4> K<^>-1 до -<$E2,4~cdot~10 sup -4> K<^>-1. Це надає змогу рекомендувати тонку плівку Al66Cu18Co16 для виготовлення прецизійних низькоомних тонкоплівкових резисторів. Індекс рубрикатора НБУВ: К230.26
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж72631 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|