Дослідження присвячено встановленню впливу фізико-технологічних параметрів осадження, зокрема парціального тиску робочого газу та потенціалу зсуву, на формування наноструктурних покриттів систем TiN / ZrN, MoN / CrN, (TiCr)N, (TiAl)N, (TiZrNb)N. Досліджено їх структурно-фазовий стан, механічні та трибологічні характеристики. Методом вакуумно-дугового осадження сформовано багатошарові покриття TiN / ZrN, які містять фази TiN і ZrN та покриття МоN / СгN. Встановлено, що відпалювання покриттів TiN і ZrN за Т = 700 °С у активному кисневому середовищі призводить до змінювань лише у поверхневих шарах. Найвища твердість 42 ГПа та найменше абразивне зношування покриття, що становить 1,3 х 10^-5 мм³ х Н^-1 х м^-1 властиві системі TiN / ZrN з найменшою товщиною шарів 20 нм. Твердість покриттів МоN / СгN досягає значення 38 ГПа за умов найменшого за модулем потенціалу зсуву та високого тиску азоту. Покриття (ТiСг)N складаються з двох фаз. Середній розмір кристалітів титану становить 15 нм, а нітриду (ТіСг)N близько 7,5 нм. Покриття (TiAl)N мають кубічну гратку нітриду алюмінію зі структурним типом NaCl з текстурою [111], середній розмір кристалітів становить 15 нм. Встановлено, що основна складова фаза (TiZrNb)N покриття має гранецентровану кубічну гратку (ГЦК). Визначено, що найвищу мікротвердість 44,57 ГПа та стійкість до зношування мають покриття (TiZrNb)N, які одержано за умов максимального тиску азоту.

• Гранкін Сергій Семенович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"