Наведено результати досліджень багатокомпонентних наноструктурних покриттів типу (TiAlSiY)N/CrN. Вивчено вплив різних варіантів попередньої підготовки поверхні підкладинок на адгезійну міцність і твердість покриттів. Попередню обробку зразків проводили в плазмі двоступеневого газового розряду за різними технологічними схемами. Крім іонно-плазмового очищення на частину зразків попередньо протягом 5 хв напилювали підшар хрому. Покриття формували методом вакуумно-дугового осадження за одночасного розпилення двох катодів-мішеней. Один катод виготовлено з хрому, а інший - із багатокомпонентного сплаву Ti - Al - Si - Y, отриманого вакуумно-дуговим переплавом суміші порошків зазначених елементів. Покриття осаджували на поліровані підкладинки з нержавіючої сталі при негативних потенціалах зміщення 280 В. Геометрія установки та її елементів, а також технологічні характеристики процесів випаровування-конденсації були підібрані так, що за швидкості обертання зразків 8 обертів за хвилину формування покриття загальною товщиною близько 9,0 мкм відбувалося приблизно за 60 хв. Аналіз елементного складу покриттів показав, що вміст елементів у покритті значно різниться у порівнянні з вмістом цих елементів у розпорошених катодах. Рентгенівська дифрактометрія показала, що для всіх режимів осадження характерним є утворення фаз з кубічними (ГЦК) кристалічними гратками в обох фазних прошарках багатошарових покриттів. У прошарках, сформованих при розпилюванні сплаву TiAlSiY, зафіксовано багатоелементний невпорядкований твердий розчин (TiAlSiY)N із кристалічними гратками структурного типу NaCl і параметром 0,4241 нм, а також мононітрид хрому CrN із параметром граток 0,4161 нм. Встановлено, що попереднє формування підшару хрому на підкладинці призводить до суттєвої зміни адгезійної міцності багатокомпонентного покриття у порівнянні з покриттям без підшару.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Клименко Сергій Анатолійович (1956–) (технічні науки)
• Колодій Ігор Вікторович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"