Розроблено апаратурне забезпечення комбінованої іонно-плазмової технології зміцнюючої обробки металевих поверхонь. Стверджено, що оптимальна комбінація іонно-плазмових зміцнюючих технологій повинна включати технологію модифікації механічних властивостей металевої поверхні імплантацією іонів азоту (азотуванням) і технологію нанесення наноструктурного покриття. В якості модельного об'єкта для відпрацювання зміцнюючої обробки розглядалась деталь типу "вал". Технологією азотування обрано іонно-променеву технологію високоінтенсивної низькоенергетичної імплантації іонів азоту. Зазвичай імплантація реалізується з використанням іонного джерела (прискорювача) з анодним шаром - (ПАШ). Для нанесення наноструктурного покриття було обрано іонно-плазмову технологію з використанням магнетронної розпорошуючої системи (МРС) незбалансованого типу з потужнострумовим імпульсним магнетронним розрядом (ПС1МР). Вибір було обумовлено тим, шо в ПАШ і в МРС використовуються однотипні розряди з замкненим дрейфом електронів, що спрощує забезпечення їх сумісності за вакуумними умовами. Випробувано інтегровану систему, що включала автономні плазмові пристрої - МРС і ПАШ. Таку компоновку технологічної системи було визнано неоптимальною через її громіздкість. Досліджено можливість надання МРС функції нанесення покриття і функції генератора колімованого потоку газометалевої плазми. Реалізація такого завдання перетворювала МРС незбалансованого типу з ПСІМР в універсальний плазмовий пристрій для виконання комбінованої обробки. Експериментальні дослідження спрямовано на підтвердження можливості реалізації комбінації технологічних процесів при використанні одного модернізованого плазмового технологічного пристрою магнетронного типу. Модернізація виконувалась задля створення високого показника незбалансованості магнітного поля в МРС. З цією метою використано додаткову магнітну систему з зовнішньою магнітною котушкою, яку розташовано поза межами вакуумної камери. Для живлення ПСІМР використовувалось імпульсне низькочастотне (100 Гц) розрядне джерело власної розробки. Виконувались дослідження локальних і просторових характеристик потоку газометалевої плазми в пролітному просторі. Підтверджено широку можливість регулювання кута розльоту потоку плазми для регулювання ступеня локальності обробки поверхні. Локальні характеристики плазми, що були отримані в експериментах, відповідали вимогам для проведення іонно-плазмової зміцнюючої обробки. Ефективність імплантаційної обробки підтверджено експериментом з азотування експериментального зразка. Отримано задовільні результати.

• Гришкевич Олександр Дмитрович (технічні науки)
• Гринюк Станіслав Іванович (1944–) (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"