Присвячено визначенню умов синтезу вуглецевих наноматеріалів методом магнетронного розпорошення з використанням магнетронного розпорошувального пристрою з двома зонами ерозії (ДЗМРП). Комп'ютерне моделювання методом Монте-Карло з частинками дало змогу прогнозувати оптимальні режими для отримання вуглецевих плівок з sp²- зв'язками між атомами вуглецю на даному ДЗМРП. За цих режимів досягається енергія розпорошених із мішені атомів вуглецю біля 7,04 еВ, а їх потік становив 6х10¹⁵см^-2с^-1. За температур підкладки (423.. 618) К методом комбінаційного розсіювання світла виявлено характерний розмір sр²- зв’язаних нанокристалітів у плівках (5..6) нм. З моделювання виявлено нелінійну зміну потоку розпорошеної речовини з даного ДЗМРП навіть за одного і того самого розрядного струму. За мінімуму потоку 4,95х10¹⁵см^-22с^-1 формування плівок з великими нанокристалітами ускладнено. Показано, що при відстані мішень-підкладка у 4 см незаземлена підкладка у плазмі розряду даного ДЗМРП набирає потенціал самозміщення не більше -7В, що відповідає електронній температурі до 1,4 еВ.

• Богданов Роман Вікторович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"