Запропоновано метод визначення технологічних режимів для процесу формоутворення поверхонь підкладок функціональних компонентів мікрооптоелектромеханічних систем, який надає змогу підвищити якість підкладок. Розроблено математичну модель, що описує ступінь впливу параметрів технологічного процесу формоутворення функціональних поверхонь підкладок компонентів мікроптооелектромеханічних систем на їх шорсткість і надає змогу прогнозувати параметри готових виробів оптоелектроніки на основі цих компонентів. Наведено результати експериментальних досліджень залежності якості поверхні підкладок для мікродзеркал оптичних перемикачів від режимів виконання технологічних операцій їх шліфування та полірування.

• Боцман Ірина Володимирівна (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"