Yatsenko I. V. Determination of optimal modes of electron-beam micro-treatment of surfaces in optic elements = Визначення оптимальних режимів електронно-променевої мікрообробки поверхонь оптичних елементів / I. V. Yatsenko, V. S. Antonyuk, V. A. Vashchenko, V. I. Gordienko, S. O. Kolinko, T. I. Butenko // J. of Nano- and Electronic Physics. - 2022. - 14, № 4. - С. 04012-1-04012-7. - Бібліогр.: 14 назв. - англ.Як показала практика, найбільш зручним, екологічно чистим та легкокерованим способом обробки оптичних елементів є електронно-променевий метод. Однак широке використання електронно-променевої технології у оптико-електронному приладобудуванні стримується відсутністю методів визначення оптимальних режимів електронно-променевої мікрообробки оптичних елементів, що являють собою сукупність керованих параметрів електронного променю (струм електронного потоку <$EI sub b ~=~50~-~300> мА, прискорююча напруга <$EV sub y ~=~ 4~-~8> кВ, відстань до оброблюваної поверхні <$El~=~6~cdot~10 sup -2 ~- ~8~cdot~10 sup -2> м, швидкість переміщення променю <$EV~=~5~cdot~10 sup -2 ~-~5~cdot~10 sup -3> м/с, час теплового впливу t = 0,3 - 1,0 с), перевищення яких призводить до цілого ряду небажаних явищ, які погіршують якість оброблюваних поверхонь. Розроблено математичні моделі процесу нагріву елементів з оптичного скла та кераміки різної геометричної форми та розмірів (тонкоплівкові елементи, тонкі пластини великих розмірів) рухомим стрічковим електронним променем, що надають змогу розрахувати вплив його параметрів на температурні поля у оброблюваних елементах. Встановлено, що збільшення параметрів In та Vy вказаних діапазонах призводить до зростання максимальної температури поверхні оптичних елементів більше, ніж удвічі, а зменшення параметрів l та V - менше, ніж у 1,5 разу. Визначено оптимальні значення параметрів електронного променю, перевищення яких призводить до появи тріщин та відколів у поверхневих шарах елементів, порушення їх геометричної форми та погіршення метрологічних характеристик приладів аж до їх відказів. Індекс рубрикатора НБУВ: К960.42
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж100357 Пошук видання у каталогах НБУВ
Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|