Savchenko D. V. Electrical properties of highly nitrogen-doped 6H-SiC single crystals: microwave cavity perturbation study = Електричні властивості монокристалів 6Н-SiС з високим вмістом азоту: дослідження мікрохвильовим резонаторним методом / D. V. Savchenko, D. M. Yatsyk, O. M. Genkin, Yu. F. Nosachov, O. V. Drozdenko, V. I. Moiseenko, E. N. Kalabukhova // Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics. - 2023. - 26, № 1. - С. 30-35. - Бібліогр.: 22 назв. - англ.За резонаторним методом досліджено монокристали карбіду кремнію (SiС) політипу 6H з концентрацією донорів азоту <$E(N sub D ~-~N sub A )~symbol Ы~1~cdot~10 sup 17 ~-~4~cdot~10 sup 19> см<^>-3, вирощені за модифікованим методом Делі. За температурною залежністю зсуву резонансної частоти та мікрохвильових втрат резонатора, завантаженого досліджуваними зразками, оцінено температурну залежність електропровідності. За температурною залежністю натурального логарифма провідності від 1000/T визначено енергії активації процесів, що відповідають переходам електронів із домішкових рівнів у зону провідності (<$Eepsilon sub 1>) та перестрибування електронів по донорах азоту в зонах <$E roman D sup 0 ( epsilon sub 3 )>. Установлено, що в 6H-SiC <$Eepsilon sub 1 ~=~50> меВ для <$E(N sub D ~-~N sub A )~symbol Ы~1~cdot~10 sup 17> см<^>-3, <$Eepsilon sub 1 ~=~32> меВ і <$Eepsilon sub 3 ~=~6> меВ для <$E(N sub D ~-~N sub A )~symbol Ы~1~cdot~10 sup 19> см<^>-3, <$Eepsilon sub 1 ~=~13,5> меВ і <$Eepsilon sub 3 ~=~3,5> меВ для <$E(N sub D ~-~N sub A )~symbol Ы~4~cdot~10 sup 19> см<^>-3.
Шифр НБУВ: Ж16425 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|